《完美世界》txt全集,小说阅读网

上海翻譯公司完成“金屬沉積系統(tǒng)”操作說明英中翻譯

時間:2020-06-15 15:08 來源:未知作者:dl 點擊:次

上海翻譯公司完成“真空金屬沉積系統(tǒng)”操作說明中文翻譯

1. 健康和安全注意事項

2. 說明

3. 技術數(shù)據(jù)

4. 所需服務

5. 安裝

6. 部件布局

7. 操作

8. 建議的維護要求

9. 建議的備件清單

VMD900DL說明手冊第3頁

West Technology Systems Limited

1. 健康和安全注意事項

警告！

 在使用本設備前，請閱讀這些說明及所有相關的制造商說明手冊。

 本系統(tǒng)自動運行。系統(tǒng)真空泵和閥門可以運行，而無警告。

 如果需斷開壓縮空氣供應管道，應謹慎操作。

 在進行任何維護前，隔離系統(tǒng)的電源供應

 操作本系統(tǒng)時應特別謹慎

 操作員在使用本系統(tǒng)前，應充分熟悉所有相關的操作和健康及安全程序

 在本系統(tǒng)上進行清洗或維護前，請仔細閱讀本手冊。

 當在本系統(tǒng)上進行清洗或維護時，始終穿戴建議的個人防護裝備

VMD900DL說明手冊第4頁

West Technology Systems Limited

2. 說明

VMD900DL真空金屬沉積系統(tǒng)旨在用于真空鍍膜指紋檢測技術。

該系統(tǒng)的設計主要用于軟包裝塑料的涂鍍，如聚乙烯袋，同時可用于固體塑料、玻璃、槍支和許多其他無孔樣品制成的部件的涂鍍。

該工藝將按照應用科學技術中心（CAST）開發(fā)的程序執(zhí)行，并記錄在指紋可視化手冊2014中。

總則

本系統(tǒng)的設計符合所有英國標準，并使用新的CE認證的部件制造。

該系統(tǒng)適合于警務室和法醫(yī)實驗室中的工作人員使用，只需最低限度的培訓，并且所需維護工作量最少。

部件、控件和設計均確保對操作員和其他人員健康和安全的危害最小化

本系統(tǒng)的設計能夠提供快速的抽真空時間，可輕松蒸發(fā)和進氣，因此周期時間最小。

腔室

該系統(tǒng)在一次蒸發(fā)中，能夠涂鍍的軟聚乙烯薄膜材料表面最大達到800mm×1214mm，且基底無需伸出到工件夾具之外。腔室是臥式圓柱型，內(nèi)部直徑為770mm，內(nèi)部可用深度約為900mm。

提供有用于腔室樣品裝卸的簡單方法（參見下面的工件夾具規(guī)格）。

腔室內(nèi)裝有一個直徑200mm的通過孔徑窗口，方便觀察待涂鍍的樣品表面。該窗口提供清晰視界，斜向上觀察到涂鍍表面。

VMD900DL說明手冊第5頁

West Technology Systems Limited

腔室的設計使普通身高的操作員可以很容易地通過觀察口進行觀察，并容易觀察腔室上部的內(nèi)表面。

提供四個低電壓LED燈（每個至少為20瓦），每側燈絲兩個，分布在沿燈絲組件大約三分之一和三分之二的位置。操作員可以很容易地更換這些燈具。

燈座的設計使得觀察者可避免燈絲光直射，同時為待涂鍍樣品表面提供最佳的照明。在處理樣品和顯現(xiàn)標志期間，可以打開和關閉燈光

操作員可以很容易地更換這些燈具。

抽氣孔開口處安裝有金屬格柵，以防止將如聚乙烯薄膜等材料吸入泵內(nèi)，并防止對高真空閥門造成潛在損害。

工件夾具

提供裝載待處理物品的簡單方法。

安裝一個直徑750mm的半圓柱形工件夾具（比腔室內(nèi)半徑約小25mm，并且比腔室的可用內(nèi)部長度短50mm）�？赏ㄟ^小型10mm直徑×10mm長的高功率Bromag磁鐵，將薄聚乙烯薄膜牢固地連接至工件夾具。

工件夾具為不銹鋼磁性等級。具有耐弱堿或酸清洗性能。

工件夾具安裝在支撐導軌的系統(tǒng)上，使其可完全從腔室收回，鎖定在處于45、90和180度位置的收回位置。

工件夾具的收回和旋轉操作確保快速可靠和安全，因此工件夾具的設計可以消除兩個支持導軌和鎖定系統(tǒng)獨立運行的可能性。

為最大程度保證操作員的安全，采用摩擦停止和機械停止兩種方式。

注意：當旋轉工件夾具系統(tǒng)時應始終注意，并且操作員應確保不安裝不均衡負荷至工件夾具。

VMD900DL說明手冊第6頁

West Technology Systems Limited

工件夾具在燈絲上方也有三排直徑為3至5mm的平行小孔，以便大尺寸的展示件可以連接至工件夾具上進行加工。

特別注意事項

該系統(tǒng)能夠處理典型量的水蒸氣和其他污染物，例如，樣品生成的烴油和有機化合物。同時可以處理由于鋅的蒸發(fā)而造成的其他重大污染源。

注意：當清洗腔室設備時，應使用防塵口面罩、手套和安全眼鏡。

泵送系統(tǒng)

供應的泵送組在本應用中已得到很好的證明，非常強大和可靠，具有高泵送速度/性能，并高度耐受本工藝中發(fā)現(xiàn)的污染物。

粗抽泵包括Edwards E2M80（旋轉泵）/Edwards EH500（機械增壓器）的組合，具有在大氣壓力下約80m3hr-1的泵送速度，以及在10-1毫巴條件下400 m3hr-1的泵送速度。該E2M80旋轉泵裝有一個MF100油霧過濾器，以確保通過泵排氣管的油霧排放達至最小。

使用ISO100背壓/粗抽壓管，以確保腔室處的最佳泵送速度，不會由于導電限制而造成重大損失。

提供Varian VHS-10水冷式擴散泵（5300 ls-1），并配有氣動高真空閘閥。腔室的有效泵送速度為3750 l s-1。擴散泵注滿硅704流體。

擴散泵將承受高達25℃的冷卻水入口溫度，并裝有熱敏彈簧開關和水流開關，該開關連接到PLC控制系統(tǒng)，以進行報警并提供自動故障安全狀態(tài)檢測。

泵送性能和系統(tǒng)規(guī)范

Edwards E2M80（旋轉泵）/Edwards EH500（機械增壓器）和Varian VHS-10高通量擴散泵組合，確保實現(xiàn)非�？焖俚某闅鈺r間。

在不運行“指形冷凍器”的情況下，在金或銀工藝壓力條件下（1x10-5毫巴）的空載、干燥室排氣時間通常是6-7分鐘。

VMD900DL說明手冊第7頁

West Technology Systems Limited

在正常工作參數(shù)條件下，對于訓練有素的操作員，可以在不到12分鐘的時間完成一次過程。

燈絲支架和電源

蒸發(fā)絲沿腔室的前部至后部直線分散布置，距離腔室的底部約100mm。

在金和鋅的蒸發(fā)過程中，燈絲相對于待涂鍍表面的位置應謹慎設計，應盡可能使表面均勻涂鍍。

有三個獨立可選擇的蒸發(fā)源組。

燈絲設計應使得特定源的位置具有靈活性。

源安裝在沿腔室長度約1/4、1/2、3/4的距離處。

采用燈絲夾固定到源母線的設計，確保燈絲更換時不會導致意外的安裝錯位。

燈絲組件可直接拆除和拆卸，以方便清潔，并采用堅固耐用結構。絕緣體的設計最大限度地減少發(fā)生鋅沉積層“橋接”的潛在問題。

電源和控制系統(tǒng)非常適合于提高用于蒸鍍金的一對燈絲溫度達至白熱狀態(tài)，以及提升兩用于鍍鋅的蒸發(fā)皿溫度至熾熱狀態(tài)。

儀表與控制系統(tǒng)

控制系統(tǒng)直觀可用，在腔室前從操作員的位置，可以很容易地使用所有經(jīng)常使用的控件，同時可通過腔室觀察口進行觀察。

三菱FX系列可編程邏輯控制器（PLC）和E1101觸摸屏字母數(shù)字顯示器（HMI）。控制系統(tǒng)提供真空系統(tǒng)的簡單半自動操作。

采用單按鈕操作，PLC控制真空泵的運行和腔室從大氣壓力至工藝準備壓力的排氣。

VMD900DL說明手冊第8頁

West Technology Systems Limited

HMI顯示器具有一個簡單的系統(tǒng)模擬，并安裝在控制單元內(nèi)，以允許操作員易于識別系統(tǒng)狀態(tài)。所有控件均清楚地標記。

控制系統(tǒng)通過“SOURCE”提供蒸發(fā)控制。PLC控制腔室壓力處于以下參數(shù)內(nèi)：

金超過2×10-4毫巴

鋅 3×10-4和5×10-4毫巴之間

真空計

真空測量包括兩個ATC-M主動熱電偶測頭（一個在再生管線中，另一個在腔室上）以及一個位于腔室上的AIM-S主動倒置磁控測頭。

在最佳壓力（由腔室ATC-M測量）條件下時，AIM-S主動倒置磁控測頭自動開啟和關閉，以防止其在不適當高壓條件下工作。

即使對于技術并不熟練的操作員，AIM-S頭也非常容易拆卸，且易于清洗，并且不會對校準帶來不利影響。

所有壓力顯示在人機界面顯示面板上。

具體數(shù)據(jù)顯示如下：

背壓-顯示背壓管線中的壓力。

粗抽壓力-顯示抽空的最初“粗抽”階段腔室中的壓力。

高真空壓力-顯示抽空的“高真空”階段腔室中的壓力。

指形冷凍器（可選額外附件）

真空室可配備具有Polycold PFC552低溫制冷系統(tǒng)的低溫制冷指形冷凍器。制冷系統(tǒng)連接到一個最小面積為250 cm2的“指形冷凍器”。指形冷凍器為圓形截面和自立式。本系統(tǒng)可運行-120℃以下溫度條件下

注意：如果處理具有高水分含量的展示件，強烈建議此選項。同樣，對于一般用途，指形冷凍器將顯著縮短腔室抽空時間。

VMD900DL說明手冊第9頁

West Technology Systems Limited

冰指的位置應使得可無阻礙地通過擦拭全長度而進行定期清洗，而無需移除任何輔助部件。

注意：腔室門打開時，指形冷凍器溫度仍然可以維持在-100℃。需注意防止裸露皮膚的凍傷。

健康和安全

其設計和結構均需確保非技術的培訓人員的安全操作。

使用機器相關的任何潛在健康危害已加以記錄，并完全符合英國的“工作健康與安全法”以及“控制危害健康物質條例”。

電氣負荷

VMD900DL系統(tǒng)和冷水機組需要415V+（中線）3相，50Hz，63安培的電力供應。目前可行的是將負荷均勻分布至各相。

供水

對于VHS-10擴散泵，最大可接受的入口溫度為25℃時的冷卻水流量要求為3.0 l min-1�？梢允亲詠硭騺碜宰杂烧玖⒌睦渌畽C組。

對于Polycold PFC552HC系統(tǒng)（若購買），最大可接受的入口溫度為13℃時的冷卻水流量要求為4.3 l min-1�？梢允亲詠硭騺碜宰杂烧玖⒌睦渌畽C組。

氣壓供應

壓縮空氣的要求為100 磅平方英寸，幾乎為零流量�？梢允枪S空氣供應或來自自由站立的氣動壓縮機。

排氣

E2M80泵的排氣通過Edwards MF100油霧過濾器排放到大氣中

注意：建議排氣通過管道排放至排煙點或通過外墻。排氣管線必須始終暢通無阻。

VMD900DL說明手冊第10頁

West Technology Systems Limited

布置

“獨立式”真空金屬沉積系統(tǒng)通常布置在實驗室中，所有泵及配件安裝到一個單獨的服務通道或附屬建筑物，以幫助減少輸出至室內(nèi)和工作環(huán)境的噪音和熱量。

假設泵和任何輔助設備都位于外部，在實驗室內(nèi)系統(tǒng)的深度不超過3005mm，并且?guī)в糜谘b載的加長工件夾具，那么系統(tǒng)將不能大于1200mm，包括控制面板。

強烈建議將E2M80/EH500真空泵機組放置在一個與主系統(tǒng)分隔的房間內(nèi)。這是因為兩者均產(chǎn)生熱負荷，這對于實驗室而言是不可接受的。由于這一原因，放置這些裝置的房間應具有足夠的自然或強制通風條件。

E2M80真空泵的噪聲級為70 dB（A），當放置泵時同時應該考慮該因素。

可選附件

閉環(huán)冷卻水機組應位于基座上，處于一個適當冷卻和通風良好的工作房或通道，或者可將它放置在建筑物外部。

建議Polycold 552HC系統(tǒng)及壓縮機也應放置在一個適當冷卻和通風良好的工作房或通道內(nèi)。

樓板負荷

近似的樓板負荷：

主系統(tǒng)（腔室和控件） 1500Kg，占地為970mm×860mm

真空泵組（E2M80/EH500） 220Kg，占地為400mm×250mm

可選附件

Polycold PFC552HC 408 Kg，占地為953 mm x 660 mm

閉環(huán)冷卻水機組* 113 Kg，占地為652 mm x 575 mm

閉環(huán)冷卻水機組* 188 Kg，占地為652 mm x 575 mm

閉環(huán)冷卻水機組* 316 Kg，占地為1310 mm x 660 mm

氣動壓縮機 50 Kg，占地為400 mm x 750 mm

*沒有位于內(nèi)部的Polycold PFC552和冷水機組的系統(tǒng)

**沒有位于外部的Polycold PFC552和冷水機組的系統(tǒng)

***具有位于內(nèi)部的Polycold PFC552和冷水機組的系統(tǒng)

VMD900DL說明手冊第11頁

West Technology Systems Limited

建筑工程

應在主系統(tǒng)和相關設備選定位置的2米內(nèi)提供上述的所有必需服務。

設備文件

該系統(tǒng)將提供：

1. 提供一份簡單副本，附于用戶指南。

2. 一份全面操作手冊的副本，詳細說明操作、保養(yǎng)和維護的所有方面。

3. 技術數(shù)據(jù)

旋轉泵： Edwards E2M80(80 m3hr-1)

機械增壓器： Edwards EH500(500 m3hr-1)

擴散泵： Varian VHS-10

噪音水平：小于75 dB

尺寸： 1800mm寬x1920mm高×2200mm

深度

表面處理：淺灰色的人造革

4. 所需服務

電氣： 414v 3相，50Hz中線+接地線

電流額定：最大63安培

氣動空氣供應： 80-100 PSI

水冷卻（VHS-10）：在最高溫度25℃時流量為3 L min-1。

水冷卻（PFC552HC）：在最高溫度13℃時流量為4.3 L min-1。

旋轉泵的排氣：合適的提取點到大氣

5. 安裝

該系統(tǒng)將由West Technology Systems Limited工程師完全安裝至已準備就緒的現(xiàn)場。

使用底座上提供的準平頂具調平裝置，將系統(tǒng)布置在一個干凈的位置。按照說明手冊，連接所有服務。

重要提示：未能正確重新連接所有服務對于系統(tǒng)、系統(tǒng)組件及操作員將帶來危險。

VMD900DL說明手冊第12頁

West Technology Systems Limited

重要提示：檢查所有電機的方向，確保三相連接正確。

重要提示：重新安裝后的連接或重連操作只能由合格的人員進行。

有關任何技術問題，請咨詢West Technology Systems Limited。

6. 總體布局

“VMD 900DL”的設計符合人體工程學，適合大多數(shù)實驗室狀況。

所有電源服務位于機器后方的固定面板上，包括水、氣、電和真空泵排氣線。

其他面板可拆卸，允許方便維護所需的地方。

該系統(tǒng)的設計考慮大多數(shù)操作員對于通過PLC控制大多數(shù)操作的真空系統(tǒng)的了解甚少或有限。

操作員面板具有系統(tǒng)的所有控制，啟動和關閉、腔室抽空和通風以及連續(xù)沉積。真空壓力調節(jié)（對于鋅層）和源蒸發(fā)電流控制位于HMI附近。

源變壓器位于可拆卸面板背后主外殼的右手側。

VMD900DL說明手冊第13頁

West Technology Systems Limited

可編程邏輯控制器、所有接觸器和控制線路位于可拆卸面板背后主外殼的左手側。

7. 操作

啟動系統(tǒng)

注意：操作本設備前，請閱讀提供的所有說明書。

注意：當旋轉工件夾具系統(tǒng)時應始終注意，并且操作員應確保不安裝不均衡負荷至工件夾具。

首先檢查“緊急停止”按鈕不可操作，通過逆時針轉動釋放它。

接著打開墻上的電源“ON”。

然后通過操作位于VMD900DL左手側面板上的開關打開電源。

HMI將開始測試例程，約15秒后會顯示 “WEST TECHNOLOGY歡迎屏幕”。

按屏幕上的任何地方，操作員進入“泵操作屏幕”

按下“信息”按鈕，操作員將進入“信息屏幕”（參見后文）。

VMD900DL說明手冊第14頁

West Technology Systems Limited

為啟動系統(tǒng)，操作員按下“開始系統(tǒng)”按鈕。

注意：如果“安全復位”按鈕是紅色的，則系統(tǒng)必須休息。為了完成此操作，操作員按下“安全復位”按鈕。在短暫的延遲后，這個按鈕更改為“安全健康”。

一旦出現(xiàn)“安全健康”的說明，操作員可以通過按下“啟動系統(tǒng)”按鈕啟動系統(tǒng)。該按鈕將轉化為顯示“停止系統(tǒng)。

VMD900DL說明手冊第15頁

West Technology Systems Limited

該系統(tǒng)需要30分鐘才能啟動，并且時間以倒數(shù)形式在“準備進入”箱中顯示。

控制屏幕

按下系統(tǒng)模擬上的“控制”按鈕，操作員進入“控制屏幕”。

這是系統(tǒng)的主控制屏幕。“控制屏幕”是操作員執(zhí)行連續(xù)沉積過程的地方。

按下“抽空”按鈕，啟動腔室的抽空。由于該按鈕是按下的，按鈕上的說明暫時變?yōu)?ldquo;抽氣”，然后又返回顯示“抽空”。

在屏幕上顯示腔室壓力。

按下“關閉燈光”按鈕，打開腔室LED燈，以照亮真空室內(nèi)部。當按下時，“關閉燈光”圖標變?yōu)?ldquo;打開燈光”。再次按下該按鈕，關閉LED燈（圖標變回為“關閉燈光”）。

如需對真空室通風，操作員只需按下“通風”按鈕即可。一旦按下，腔室自動通風，并返回至大氣壓力。

按下“菜單”按鈕，操作員進入“菜單屏幕”。

按下“燈箱”，HMI屏幕將變?yōu)橐粋€白色的燈箱屏幕�？捎糜诳焖贆z查工藝展示件，以評估顯現(xiàn)的指紋。按下“菜單”按鈕，操作員進入“菜單屏幕”。

按下“密封”按鈕，將密封腔室，即高真空閥門將關閉。此功能用于將展示件整夜維持在高真空條件下。

VMD900DL說明手冊第16頁

West Technology Systems Limited

金/鋅蒸發(fā)

一旦腔室真空壓力達到高真空壓力高于1×10-4毫巴，蒸發(fā)源將變得活躍。

為開始金沉積過程，按下“關閉源”按鈕。

Source Activation Button 源激活按鈕

經(jīng)短暫延時后，右側“關閉源”圖標變?yōu)?ldquo;源1”，而左側“關閉源”圖標變?yōu)?ldquo;鍍金層1”。

此時，操作員可以在HMI屏幕下側位置慢慢調整，并增加蒸發(fā)電流，直至蒸發(fā)皿發(fā)出暗紅色，并且金絲融化和“浸濕”蒸發(fā)皿。

VMD900DL說明手冊第17頁

West Technology Systems Limited

Current Potentiometer 電流電位計

注意：如果蒸發(fā)電流上升太快，那么金絲可能從蒸發(fā)皿中跳出。

當黃金“浸濕”蒸發(fā)皿時，操作員可以通過電流電位計慢慢增加蒸發(fā)電流直到蒸發(fā)皿發(fā)出白熱，黃金將開始蒸發(fā)。蒸發(fā)時間不應超過3-5秒。當蒸發(fā)結束時，操作員使用電流電位計慢慢調節(jié)蒸發(fā)電流至零。

按下“源1”按鈕，然后選擇第2組金蒸發(fā)皿（如果已安裝）。

在正常工作下，不使用該蒸發(fā)源，但可能存在需要額外黃金蒸發(fā)的情況。另外該蒸發(fā)源可用于鋅蒸發(fā)后需要進行銀連續(xù)蒸發(fā)的工藝。

當按下“源1”時，圖標變?yōu)?ldquo;源2” ，并且“金層1”圖標變?yōu)?ldquo;金層2”。然后重復黃金蒸發(fā)步驟。

VMD900DL說明手冊第18頁

West Technology Systems Limited

如果不需要黃金二次沉積，那么通過按下“源1”按鈕兩次，操作員進入“源3”，并且“金層1”圖標變?yōu)?ldquo;鋅層”。

系統(tǒng)將自動調整鋅蒸發(fā)腔室的壓力，通常需要幾秒鐘時間達到穩(wěn)定，此時將顯示圖標“鋅層”。

在慢慢調節(jié)電流電位計前，建議操作員通過按下“打開燈光”按鈕關閉腔室的燈。

用于蒸發(fā)金的相同工藝也適用于蒸發(fā)鋅，即操作員可以慢慢調整電流電位計，并增加蒸發(fā)電流直到蒸發(fā)皿發(fā)出暗紅色，鋅箔（或顆粒）源材料熔化并“浸濕”蒸發(fā)皿。

此時，迅速按下“關閉燈光”按鈕打開腔室的燈，并觀察被加工展示件的表面。通過慢慢增加電流，鋅將開始堆積至展示件表面，顯現(xiàn)指紋。

這將允許操作員觀察和評估鋅的沉積，以獲得最佳的指紋圖像。

需要經(jīng)驗來判斷沉積至樣品材料的鋅量，以沉積足夠的鋅產(chǎn)生指紋圖像，但不會沉積過多鋅而降低指紋圖像的清晰度。

注意：如果蒸發(fā)電流上升太快，那么金絲可能從蒸發(fā)皿中跳出。

VMD900DL說明手冊第19頁

West Technology Systems Limited

注意：如果鋅沉積工藝的腔室壓力太低，那么在屏幕上將不會顯示“鋅層”圖標，同時顯示圖標“低壓”。

注意：如果鋅沉積工藝的腔室壓力太高，那么在屏幕上將不會顯示“鋅層”圖標，同時顯示圖標“高壓”。

在這種情況下，不能蒸發(fā)鋅直到已糾正壓力條件。這通過小心逐步地調整位于腔室的右手側的泄漏閥完成。

VMD900DL說明手冊第20頁

West Technology Systems Limited

鋅蒸發(fā)結束時，按下“源3”按鈕將關閉所有蒸發(fā)源。

按下“通風”按鈕，腔室返回到大氣壓力，可以移除被加工展示件的材料。一旦按下，圖標在返回至“通風”前暫時變?yōu)?ldquo;正在通風”。

通風腔室需要大約2分鐘。

菜單屏幕

該屏幕允許訪問所有其他系統(tǒng)屏幕。

控制屏幕-按下此按鈕，操作員進入“控制屏幕”（參見上文）

系統(tǒng)啟動-按下此按鈕，操作員進入“泵操作屏幕”（參見上文）。

壓力-按下此按鈕，操作員進入“壓力屏幕”（參見下文）。

模擬-按下此按鈕，操作員進入“系統(tǒng)模擬屏幕”（參見下文）。

VMD900DL說明手冊第21頁

West Technology Systems Limited

數(shù)據(jù)-按下此按鈕，操作員進入“數(shù)據(jù)屏幕”（參見下文）。

信息-按下此按鈕，操作員進入“信息屏幕”（參見下文）。

報警-按下此按鈕，操作員進入“報警屏幕”（參見下文）

中文/英文-按下此按鈕，更改HMI屏幕中使用的語言，從英文變更為中文，或相反。

壓力屏幕

該屏幕顯示背壓、粗抽壓和高真空計壓。

系統(tǒng)模擬屏幕

該屏幕提供有關系統(tǒng)運行狀態(tài)的信息，例如上述例子中真空泵處于運行中，高真空閥和止回閥打開。圖標“高真空”表明系統(tǒng)處于高真空。壓力顯示器正顯示3.5×10-5毫巴。

VMD900DL說明手冊第22頁

West Technology Systems Limited

按下“關閉燈光”按鈕，打開腔室LED燈，以照亮真空室內(nèi)部。在工藝沉積期間，當加載金絲至蒸發(fā)皿和開始施加電流至鋅蒸發(fā)皿時，這一步驟有用。

按下“菜單”按鈕，操作員進入“菜單屏幕”（參見下文）。

按下“控制”按鈕，操作員進入“控制屏幕”

按下“外部”按鈕，操作員進入“服務屏幕”。

該屏幕顯示冷水機組（如配備）和氣動壓縮機（如配備）的運行狀態(tài)。同時提示操作員供水和空氣供應是否在運行參數(shù)內(nèi)。

按下“內(nèi)部”按鈕，操作員返回至“系統(tǒng)模擬屏幕”。

數(shù)據(jù)屏幕

該屏幕顯示有關所有關鍵運行的系統(tǒng)參數(shù)，包括背壓、粗抽壓和高真空計壓。主要部件的運行狀態(tài)（如旋轉真空泵、機械增壓泵等）和自動控制程序中使用的設定點系列。

VMD900DL說明手冊第23頁

West Technology Systems Limited

注意：可以改變設定點，但是在未與West Technology討論前，強烈建議操作員不要更改任何設置點。

信息屏幕

該屏幕有許多按鈕，允許操作員了解系統(tǒng)的更多信息：

啟動泵-說明當系統(tǒng)啟動時真空泵的操作順序。

報警-按下此按鈕，操作員進入“報警屏幕”（參見下文）

壓力-操作員進入“壓力信息屏幕”（參見下文）。服務-操作員進入“服務信息屏幕”（參見下文）。

趨勢-操作員進入“壓力趨勢屏幕”（參見下文）。

維護-操作員進入“維護屏幕”（參見下文）。

定時器-操作員進入“定時器屏幕”（參見下文）。

I/O列表-操作員進入“I/O列表屏幕”（參見下文）。

VMD900DL說明手冊第24頁

West Technology Systems Limited

壓力信息屏幕

該屏幕說明背壓、粗抽壓和高真空壓表如何工作并顯示真空壓力。

服務信息屏幕

該屏幕給予有關West Technology的聯(lián)系信息。有關服務支持合同的詳情，請聯(lián)系我們。

趨勢屏幕

該屏幕顯示粗抽和高真空壓力趨勢表。

VMD900DL說明手冊第25頁

West Technology Systems Limited

維護屏幕

該屏幕給出系統(tǒng)的每周、每月、每3個月和年度維修計劃。

定時器屏幕

該屏幕給出有關擴散高真空泵預熱定時器（系統(tǒng)啟動時激活）和擴散泵冷卻定時器（系統(tǒng)關閉時激活）的信息。

I/O列表屏幕

VMD900DL說明手冊第26頁

West Technology Systems Limited

該屏幕受密碼保護，只能由授權的服務工程師訪問。一旦訪問，該屏幕允許工程師選擇系統(tǒng)的手動控制和一系列其他功能。

工藝周期

裝載樣品

為裝載樣品材料至腔室，操作員必須先釋放門閂并打開門。

注意：如果腔室已經(jīng)在運行或處于“密封”狀態(tài)，那么操作員必須按下“控制屏幕”上的“通風”按鈕，使得腔室返回至大氣壓力。

操作員然后從腔室撤回工件夾具（使用手柄）。當工件夾具處于完全伸出的位置，操作員拉動位于右手側的小扣銷，并慢慢倒轉工件夾具。

注意：必須拉出扣銷，以充分旋轉工件夾具至其設定位置。

工件夾具具有一個三位式閂鎖組件-正常位置、90度、45度和完全倒轉。一旦工件夾具處于其所需位置，可以釋放扣銷，以鎖定工件夾具的位置。

確保樣品材料是光滑的，使用小塊高性能磁體將其連接至工件夾具。一旦連接，旋轉工件夾具回到正常位置。

注意：當旋轉工件夾具系統(tǒng)時應始終注意，并且操作員應確保不安裝不均衡負荷至工件夾具。

最后操作員將工件夾具推回至腔室內(nèi)，并關上門。

腔室抽空

為抽空腔室，操作員必須按下“控制屏幕”中的“抽空”按鈕。

事件的先后序列如下：

1. 粗抽閥打開。

VMD900DL說明手冊第27頁

West Technology Systems Limited

2. 腔室內(nèi)壓力降低到預定水平（交叉壓力）。

3. 粗抽閥關閉。止回閥打開。

4. 高真空閥打開。

5. 腔室抽空至高真空壓力

沉積過程

1. 操作員首先確保電流電位計設置為零（順時針旋轉到底）。

2. 如果不是在“控制屏幕”中，操作員通過“系統(tǒng)模擬屏幕”或“菜單屏幕”選擇該屏幕。

3. 在“控制屏幕”中，操作員按下左側“關閉源”按鈕，該按鈕的圖標變?yōu)?ldquo;源1”，右側關閉源”下方圖標變?yōu)?ldquo;金層1”。

4. 然后，操作員逆時針慢慢旋轉電流電位計旋鈕，直到獲得所需蒸發(fā)度。（參見上述“控制屏幕”中的注釋）。

注意：黃金源的供電不要過快，因為會出現(xiàn)熱沖擊，而導致黃金從蒸發(fā)皿中跳出。緩慢向蒸發(fā)皿供電，直到黃金首次浸濕蒸發(fā)皿，然后增加供電，以實現(xiàn)完全蒸發(fā)。通過增加功率，黃金將完全蒸發(fā)，直到蒸發(fā)皿達到白熱狀態(tài)。

注意：在黃金蒸發(fā)期間，最好關閉腔室燈。

5. 一旦完成蒸發(fā)，操作員必須順時針滿旋電流電位計旋鈕，以確保其關閉。

6. 然后操作員按下“源1”一次選擇進行二次金蒸發(fā)，或按下“源1”兩次繼續(xù)鋅蒸發(fā)，而圖標變?yōu)?ldquo;源3”。

將有短暫的停頓，同時系統(tǒng)自動調整腔室中的壓力至約3×10-4毫巴。一旦鋅沉積的真空壓力在規(guī)定的范圍內(nèi)，右側圖標變?yōu)?ldquo;鋅層”。

VMD900DL說明手冊第28頁

West Technology Systems Limited

可通過位于RHS上真空腔室正下方的LV10K細針型閥，將鋅蒸發(fā)壓力調整至預定范圍內(nèi)。順時針旋轉閥門旋鈕，增加真空壓力（例如，從6.7×10-4至3.3×10-4毫巴），而逆時針旋轉，則減小真空壓力（例如，從3.3×10-4至6.7×10-4毫巴）。

當蒸發(fā)鋅蒸發(fā)皿時，建議開始時應關閉腔室燈。

緩慢地供電，直至蒸發(fā)皿的兩端開始發(fā)出暗紅色，并且在增加功率開始蒸發(fā)前，允許短時間將鋅浸泡在該水平。

注意：當蒸發(fā)鋅層時，建議打開腔室燈，這樣可以觀察到指紋的顯現(xiàn)。

在某些材料上很難觀察指紋的顯現(xiàn)。因此，建議固定一個小尺寸白色塑料試件至工件夾具，以幫助觀察。

7. 一旦完成蒸發(fā)，操作員必須順時針滿旋電流電位計旋鈕，以確保其關閉。

8. 完成鋅蒸發(fā)后，建議操作員切換回“金層1”，并緩慢增加電流直至金蒸發(fā)皿發(fā)出白熱。通過這一步驟將移除蒸發(fā)皿上的任何鋅污染。

9. 一旦完成蒸發(fā)，操作員必須順時針滿旋電流電位計旋鈕，以確保其關閉。

腔室通風

為使腔室通風回到大氣壓力，操作員必須按下“控制屏幕”中的“通風”按鈕。

事件的先后序列如下：

1. 高真空閥關閉。

2. 短暫延時后，進氣閥打開。

VMD900DL說明手冊第29頁

West Technology Systems Limited

3. 一旦腔室處于大氣壓力，進氣閥關閉并且系統(tǒng)重啟。

腔室清洗

注意：當清洗腔室設備時，應使用防塵口面罩、橡膠手套和安全眼鏡。

注意：WTSL建議在開始任何清洗前先關閉系統(tǒng)。

注意：為確保不會積累大型沉積，腔室定期清洗非常必要。這將使日常維護更容易，并有助于保持系統(tǒng)的最佳性能。

為協(xié)助清洗過程，腔室已安裝可拆卸的襯墊，一旦從腔室移除，應使用合適的溶劑擦除干凈。對于更頑固的沉積，我們建議使用輕百潔布擦拭。

移除襯墊后，應清掃腔室，并特別注意母線周圍，防止沉積的堆積而導致短路。

注意：可以從West Technology訂購備用襯墊套。

LED燈表面也需要定期清洗。

我們建議在燈上涂敷適當?shù)恼婵諠櫥⊥繉�，因此只需要使用適當溶劑清洗劑即可清洗。這將防止清洗期間燈具被劃傷。

VMD900DL說明手冊第30頁

West Technology Systems Limited

8 建議的服務要求

每周

Ÿ 檢查所有E2M80 和EH500真空泵的油視鏡的油位。如有需要，進行補充。

Ÿ 檢查氣動壓縮機的油位（如果存在）。如有需要，進行補充。

Ÿ 清洗腔室和O型環(huán)密封。

每月

Ÿ 清洗腔室和室內(nèi)設備。

每3月

Ÿ 檢查O型環(huán)門密封。

每6月

Ÿ 檢查擴散泵流體的條件和水平。

每12月

Ÿ 小型服務E2M80泵

Ÿ 更換EH500機械增壓器中的油（如需要）。

Ÿ 檢查擴散泵流體。

Ÿ 檢查粗抽壓、背壓、進氣和高真空閥。

Ÿ 清洗和檢查真空計。

注意：當清洗腔室、室內(nèi)設備、真空閥、真空計等，應使用呼吸防塵面罩、橡膠手套和安全眼鏡。

注意：必須按照制造商的說明清洗表。

VMD900DL說明手冊第31頁

West Technology Systems Limited

9 建議的備件和耗材

VMD900備件零件號

ultragrade 20油，1升 WTS/11024015/1L

ultragrade 20油，4升 WTS/11024013/4L

DC704擴散泵油，1升 WTS/704/1L

AIM-S-NW25主動倒置式磁控真空計頭 WTS/14641000

ATC-M-1/8"主動熱電偶真空計頭 WTS/35108000

晶閘管熔絲16A WTS/THYFUSE

備用熔絲組 WTS/熔絲

工具箱 WTS/工具

10 Bremag磁鐵包 WTS/NB012B-M

LED燈 WTS/MR16-3CW-XREP4-C

腔室門密封 WTS/門封

O型密封圈組 WTS/密封組

VMD耗材（所有型號）

蒸發(fā)皿零件號

黃金（10包） WTS/金/蒸發(fā)皿

銀（10包） WTS/銀/蒸發(fā)皿

鋅（10包） WTS/銀/蒸發(fā)皿

蒸發(fā)源材料

金絲1m WTS/金/1M

銀絲1m WTS/銀/1M

鋅粒250g WTS/鋅/250g

VMD900DL說明手冊第32頁

世聯(lián)翻譯-讓世界自由溝通！專業(yè)的全球語言翻譯供應商，上海翻譯公司專業(yè)品牌。絲路沿線56種語言一站式翻譯與技術解決方案，專業(yè)英語翻譯、日語翻譯等文檔翻譯、同傳口譯、視頻翻譯、出國外派服務，加速您的全球交付。世聯(lián)翻譯公司在北京、上海、深圳等國際交往城市設有翻譯基地，業(yè)務覆蓋全國城市。每天有近百萬字節(jié)的信息和貿(mào)易通過世聯(lián)走向全球！積累了大量政商用戶數(shù)據(jù)，翻譯人才庫數(shù)據(jù)，多語種語料庫大數(shù)據(jù)。世聯(lián)品牌和服務品質已得到政務防務和國際組織、跨國公司和大中型企業(yè)等近萬用戶的認可。