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上海翻譯公司完成“真空金屬沉積系統(tǒng)”操作說明中文翻譯
發(fā)布時(shí)間：2020-01-17 09:16 點(diǎn)擊：9908
上海翻譯公司完成“真空金屬沉積系統(tǒng)”操作說明中文翻譯客戶：項(xiàng)目編號(hào)：文檔編號(hào)：日期：West Technology Systems LimitedVMD900DL用于潛在指紋顯現(xiàn)的真空金屬沉積系統(tǒng)操作說明VMD900DL說明手冊(cè) 第2頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited目錄1. 健康和安全注意事項(xiàng)2. 說明3. 技術(shù)數(shù)據(jù)4. 所需服務(wù)5. 安裝6. 部件布局7. 操作8. 建議的維護(hù)要求9. 建議的備件清單VMD900DL說明手冊(cè) 第3頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited1. 健康和安全注意事項(xiàng)警告！ 在使用本設(shè)備前，請(qǐng)閱讀這些說明及所有相關(guān)的制造商說明手冊(cè)。 本系統(tǒng)自動(dòng)運(yùn)行。系統(tǒng)真空泵和閥門可以運(yùn)行，而無警告。 如果需斷開壓縮空氣供應(yīng)管道，應(yīng)謹(jǐn)慎操作。 在進(jìn)行任何維護(hù)前，隔離系統(tǒng)的電源供應(yīng) 操作本系統(tǒng)時(shí)應(yīng)特別謹(jǐn)慎 操作員在使用本系統(tǒng)前，應(yīng)充分熟悉所有相關(guān)的操作和健康及安全程序 在本系統(tǒng)上進(jìn)行清洗或維護(hù)前，請(qǐng)仔細(xì)閱讀本手冊(cè)。 當(dāng)在本系統(tǒng)上進(jìn)行清洗或維護(hù)時(shí)，始終穿戴建議的個(gè)人防護(hù)裝備VMD900DL說明手冊(cè) 第4頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited2. 說明VMD900DL真空金屬沉積系統(tǒng)旨在用于真空鍍膜指紋檢測(cè)技術(shù)。該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)主要用于軟包裝塑料的涂鍍，如聚乙烯袋，同時(shí)可用于固體塑料、玻璃、槍支和許多其他無孔樣品制成的部件的涂鍍。該工藝將按照應(yīng)用科學(xué)技術(shù)中心（CAST）開發(fā)的程序執(zhí)行，并記錄在指紋可視化手冊(cè)2014中。總則本系統(tǒng)的設(shè)計(jì)符合所有英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)，并使用新的CE認(rèn)證的部件制造。該系統(tǒng)適合于警務(wù)室和法醫(yī)實(shí)驗(yàn)室中的工作人員使用，只需最低限度的培訓(xùn)，并且所需維護(hù)工作量最少。部件、控件和設(shè)計(jì)均確保對(duì)操作員和其他人員健康和安全的危害最小化本系統(tǒng)的設(shè)計(jì)能夠提供快速的抽真空時(shí)間，可輕松蒸發(fā)和進(jìn)氣，因此周期時(shí)間最小。腔室該系統(tǒng)在一次蒸發(fā)中，能夠涂鍍的軟聚乙烯薄膜材料表面最大達(dá)到800mm×1214mm，且基底無需伸出到工件夾具之外。腔室是臥式圓柱型，內(nèi)部直徑為770mm，內(nèi)部可用深度約為900mm。提供有用于腔室樣品裝卸的簡(jiǎn)單方法（參見下面的工件夾具規(guī)格）。腔室內(nèi)裝有一個(gè)直徑200mm的通過孔徑窗口，方便觀察待涂鍍的樣品表面。該窗口提供清晰視界，斜向上觀察到涂鍍表面。VMD900DL說明手冊(cè) 第5頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited腔室的設(shè)計(jì)使普通身高的操作員可以很容易地通過觀察口進(jìn)行觀察，并容易觀察腔室上部的內(nèi)表面。提供四個(gè)低電壓LED燈（每個(gè)至少為20瓦），每側(cè)燈絲兩個(gè)，分布在沿?zé)艚z組件大約三分之一和三分之二的位置。操作員可以很容易地更換這些燈具。燈座的設(shè)計(jì)使得觀察者可避免燈絲光直射，同時(shí)為待涂鍍樣品表面提供最佳的照明。在處理樣品和顯現(xiàn)標(biāo)志期間，可以打開和關(guān)閉燈光操作員可以很容易地更換這些燈具。抽氣孔開口處安裝有金屬格柵，以防止將如聚乙烯薄膜等材料吸入泵內(nèi)，并防止對(duì)高真空閥門造成潛在損害。工件夾具提供裝載待處理物品的簡(jiǎn)單方法。安裝一個(gè)直徑750mm的半圓柱形工件夾具（比腔室內(nèi)半徑約小25mm，并且比腔室的可用內(nèi)部長(zhǎng)度短50mm）。可通過小型10mm直徑×10mm長(zhǎng)的高功率Bromag磁鐵，將薄聚乙烯薄膜牢固地連接至工件夾具。工件夾具為不銹鋼磁性等級(jí)。具有耐弱堿或酸清洗性能。工件夾具安裝在支撐導(dǎo)軌的系統(tǒng)上，使其可完全從腔室收回，鎖定在處于45、90和180度位置的收回位置。工件夾具的收回和旋轉(zhuǎn)操作確�？焖倏煽亢桶踩虼斯ぜ䦅A具的設(shè)計(jì)可以消除兩個(gè)支持導(dǎo)軌和鎖定系統(tǒng)獨(dú)立運(yùn)行的可能性。為最大程度保證操作員的安全，采用摩擦停止和機(jī)械停止兩種方式。注意：當(dāng)旋轉(zhuǎn)工件夾具系統(tǒng)時(shí)應(yīng)始終注意，并且操作員應(yīng)確保不安裝不均衡負(fù)荷至工件夾具。VMD900DL說明手冊(cè) 第6頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited工件夾具在燈絲上方也有三排直徑為3至5mm的平行小孔，以便大尺寸的展示件可以連接至工件夾具上進(jìn)行加工。特別注意事項(xiàng)該系統(tǒng)能夠處理典型量的水蒸氣和其他污染物，例如，樣品生成的烴油和有機(jī)化合物。同時(shí)可以處理由于鋅的蒸發(fā)而造成的其他重大污染源。注意：當(dāng)清洗腔室設(shè)備時(shí)，應(yīng)使用防塵口面罩、手套和安全眼鏡。泵送系統(tǒng)供應(yīng)的泵送組在本應(yīng)用中已得到很好的證明，非常強(qiáng)大和可靠，具有高泵送速度/性能，并高度耐受本工藝中發(fā)現(xiàn)的污染物。粗抽泵包括Edwards E2M80（旋轉(zhuǎn)泵）/Edwards EH500（機(jī)械增壓器）的組合，具有在大氣壓力下約80m3hr-1的泵送速度，以及在10-1毫巴條件下400 m3hr-1的泵送速度。該E2M80旋轉(zhuǎn)泵裝有一個(gè)MF100油霧過濾器，以確保通過泵排氣管的油霧排放達(dá)至最小。使用ISO100背壓/粗抽壓管，以確保腔室處的最佳泵送速度，不會(huì)由于導(dǎo)電限制而造成重大損失。提供Varian VHS-10水冷式擴(kuò)散泵（5300 ls-1），并配有氣動(dòng)高真空閘閥。腔室的有效泵送速度為3750 l s-1。擴(kuò)散泵注滿硅704流體。擴(kuò)散泵將承受高達(dá)25℃的冷卻水入口溫度，并裝有熱敏彈簧開關(guān)和水流開關(guān)，該開關(guān)連接到PLC控制系統(tǒng)，以進(jìn)行報(bào)警并提供自動(dòng)故障安全狀態(tài)檢測(cè)。泵送性能和系統(tǒng)規(guī)范Edwards E2M80（旋轉(zhuǎn)泵）/Edwards EH500（機(jī)械增壓器）和Varian VHS-10高通量擴(kuò)散泵組合，確保實(shí)現(xiàn)非�？焖俚某闅鈺r(shí)間。在不運(yùn)行“指形冷凍器”的情況下，在金或銀工藝壓力條件下（1x10-5毫巴）的空載、干燥室排氣時(shí)間通常是6-7分鐘。VMD900DL說明手冊(cè) 第7頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited在正常工作參數(shù)條件下，對(duì)于訓(xùn)練有素的操作員，可以在不到12分鐘的時(shí)間完成一次過程。燈絲支架和電源蒸發(fā)絲沿腔室的前部至后部直線分散布置，距離腔室的底部約100mm。在金和鋅的蒸發(fā)過程中，燈絲相對(duì)于待涂鍍表面的位置應(yīng)謹(jǐn)慎設(shè)計(jì)，應(yīng)盡可能使表面均勻涂鍍。有三個(gè)獨(dú)立可選擇的蒸發(fā)源組。燈絲設(shè)計(jì)應(yīng)使得特定源的位置具有靈活性。源安裝在沿腔室長(zhǎng)度約1/4、1/2、3/4的距離處。采用燈絲夾固定到源母線的設(shè)計(jì)，確保燈絲更換時(shí)不會(huì)導(dǎo)致意外的安裝錯(cuò)位。燈絲組件可直接拆除和拆卸，以方便清潔，并采用堅(jiān)固耐用結(jié)構(gòu)。絕緣體的設(shè)計(jì)最大限度地減少發(fā)生鋅沉積層“橋接”的潛在問題。電源和控制系統(tǒng)非常適合于提高用于蒸鍍金的一對(duì)燈絲溫度達(dá)至白熱狀態(tài)，以及提升兩用于鍍鋅的蒸發(fā)皿溫度至熾熱狀態(tài)。儀表與控制系統(tǒng)控制系統(tǒng)直觀可用，在腔室前從操作員的位置，可以很容易地使用所有經(jīng)常使用的控件，同時(shí)可通過腔室觀察口進(jìn)行觀察。三菱FX系列可編程邏輯控制器（PLC）和E1101觸摸屏字母數(shù)字顯示器（HMI）�？刂葡到y(tǒng)提供真空系統(tǒng)的簡(jiǎn)單半自動(dòng)操作。采用單按鈕操作，PLC控制真空泵的運(yùn)行和腔室從大氣壓力至工藝準(zhǔn)備壓力的排氣。VMD900DL說明手冊(cè) 第8頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems LimitedHMI顯示器具有一個(gè)簡(jiǎn)單的系統(tǒng)模擬，并安裝在控制單元內(nèi)，以允許操作員易于識(shí)別系統(tǒng)狀態(tài)。所有控件均清楚地標(biāo)記。控制系統(tǒng)通過“SOURCE”提供蒸發(fā)控制。PLC控制腔室壓力處于以下參數(shù)內(nèi)：金 超過2×10-4毫巴鋅 3×10-4和5×10-4毫巴之間真空計(jì)真空測(cè)量包括兩個(gè)ATC-M主動(dòng)熱電偶測(cè)頭（一個(gè)在再生管線中，另一個(gè)在腔室上）以及一個(gè)位于腔室上的AIM-S主動(dòng)倒置磁控測(cè)頭。在最佳壓力（由腔室ATC-M測(cè)量）條件下時(shí)，AIM-S主動(dòng)倒置磁控測(cè)頭自動(dòng)開啟和關(guān)閉，以防止其在不適當(dāng)高壓條件下工作。即使對(duì)于技術(shù)并不熟練的操作員，AIM-S頭也非常容易拆卸，且易于清洗，并且不會(huì)對(duì)校準(zhǔn)帶來不利影響。所有壓力顯示在人機(jī)界面顯示面板上。具體數(shù)據(jù)顯示如下：背壓-顯示背壓管線中的壓力。粗抽壓力-顯示抽空的最初“粗抽”階段腔室中的壓力。高真空壓力-顯示抽空的“高真空”階段腔室中的壓力。指形冷凍器（可選額外附件）真空室可配備具有Polycold PFC552低溫制冷系統(tǒng)的低溫制冷指形冷凍器。制冷系統(tǒng)連接到一個(gè)最小面積為250 cm2的“指形冷凍器”。指形冷凍器為圓形截面和自立式。本系統(tǒng)可運(yùn)行-120℃以下溫度條件下注意：如果處理具有高水分含量的展示件，強(qiáng)烈建議此選項(xiàng)。同樣，對(duì)于一般用途，指形冷凍器將顯著縮短腔室抽空時(shí)間。VMD900DL說明手冊(cè) 第9頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited冰指的位置應(yīng)使得可無阻礙地通過擦拭全長(zhǎng)度而進(jìn)行定期清洗，而無需移除任何輔助部件。注意：腔室門打開時(shí)，指形冷凍器溫度仍然可以維持在-100℃。需注意防止裸露皮膚的凍傷。健康和安全其設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu)均需確保非技術(shù)的培訓(xùn)人員的安全操作。使用機(jī)器相關(guān)的任何潛在健康危害已加以記錄，并完全符合英國(guó)的“工作健康與安全法”以及“控制危害健康物質(zhì)條例”。電氣負(fù)荷VMD900DL系統(tǒng)和冷水機(jī)組需要415V+（中線）3相，50Hz，63安培的電力供應(yīng)。目前可行的是將負(fù)荷均勻分布至各相。供水對(duì)于VHS-10擴(kuò)散泵，最大可接受的入口溫度為25℃時(shí)的冷卻水流量要求為3.0 l min-1�？梢允亲詠硭騺碜宰杂烧玖⒌睦渌畽C(jī)組。對(duì)于Polycold PFC552HC系統(tǒng)（若購買），最大可接受的入口溫度為13℃時(shí)的冷卻水流量要求為4.3 l min-1。可以是自來水或來自自由站立的冷水機(jī)組。氣壓供應(yīng)壓縮空氣的要求為100 磅平方英寸，幾乎為零流量�？梢允枪S空氣供應(yīng)或來自自由站立的氣動(dòng)壓縮機(jī)。排氣E2M80泵的排氣通過Edwards MF100油霧過濾器排放到大氣中注意：建議排氣通過管道排放至排煙點(diǎn)或通過外墻。排氣管線必須始終暢通無阻。VMD900DL說明手冊(cè) 第10頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited布置“獨(dú)立式”真空金屬沉積系統(tǒng)通常布置在實(shí)驗(yàn)室中，所有泵及配件安裝到一個(gè)單獨(dú)的服務(wù)通道或附屬建筑物，以幫助減少輸出至室內(nèi)和工作環(huán)境的噪音和熱量。假設(shè)泵和任何輔助設(shè)備都位于外部，在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)系統(tǒng)的深度不超過3005mm，并且?guī)в糜谘b載的加長(zhǎng)工件夾具，那么系統(tǒng)將不能大于1200mm，包括控制面板。強(qiáng)烈建議將E2M80/EH500真空泵機(jī)組放置在一個(gè)與主系統(tǒng)分隔的房間內(nèi)。這是因?yàn)閮烧呔a(chǎn)生熱負(fù)荷，這對(duì)于實(shí)驗(yàn)室而言是不可接受的。由于這一原因，放置這些裝置的房間應(yīng)具有足夠的自然或強(qiáng)制通風(fēng)條件。E2M80真空泵的噪聲級(jí)為70 dB（A），當(dāng)放置泵時(shí)同時(shí)應(yīng)該考慮該因素。可選附件閉環(huán)冷卻水機(jī)組應(yīng)位于基座上，處于一個(gè)適當(dāng)冷卻和通風(fēng)良好的工作房或通道，或者可將它放置在建筑物外部。建議Polycold 552HC系統(tǒng)及壓縮機(jī)也應(yīng)放置在一個(gè)適當(dāng)冷卻和通風(fēng)良好的工作房或通道內(nèi)。樓板負(fù)荷近似的樓板負(fù)荷：主系統(tǒng)（腔室和控件） 1500Kg，占地為970mm×860mm真空泵組（E2M80/EH500） 220Kg，占地為400mm×250mm可選附件Polycold PFC552HC 408 Kg，占地為953 mm x 660 mm閉環(huán)冷卻水機(jī)組* 113 Kg，占地為652 mm x 575 mm閉環(huán)冷卻水機(jī)組* 188 Kg，占地為652 mm x 575 mm閉環(huán)冷卻水機(jī)組* 316 Kg，占地為1310 mm x 660 mm氣動(dòng)壓縮機(jī) 50 Kg，占地為400 mm x 750 mm*沒有位于內(nèi)部的Polycold PFC552和冷水機(jī)組的系統(tǒng)**沒有位于外部的Polycold PFC552和冷水機(jī)組的系統(tǒng)***具有位于內(nèi)部的Polycold PFC552和冷水機(jī)組的系統(tǒng)VMD900DL說明手冊(cè) 第11頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited建筑工程應(yīng)在主系統(tǒng)和相關(guān)設(shè)備選定位置的2米內(nèi)提供上述的所有必需服務(wù)。設(shè)備文件該系統(tǒng)將提供：1. 提供一份簡(jiǎn)單副本，附于用戶指南。2. 一份全面操作手冊(cè)的副本，詳細(xì)說明操作、保養(yǎng)和維護(hù)的所有方面。3. 技術(shù)數(shù)據(jù)旋轉(zhuǎn)泵： Edwards E2M80(80 m3hr-1)機(jī)械增壓器： Edwards EH500(500 m3hr-1)擴(kuò)散泵： Varian VHS-10噪音水平： 小于75 dB尺寸： 1800mm寬x1920mm高×2200mm深度表面處理： 淺灰色的人造革4. 所需服務(wù)電氣： 414v 3相，50Hz中線+接地線電流額定： 最大63安培氣動(dòng)空氣供應(yīng)： 80-100 PSI水冷卻（VHS-10）： 在最高溫度25℃時(shí)流量為3 L min-1。水冷卻（PFC552HC）： 在最高溫度13℃時(shí)流量為4.3 L min-1。旋轉(zhuǎn)泵的排氣： 合適的提取點(diǎn)到大氣5. 安裝該系統(tǒng)將由West Technology Systems Limited工程師完全安裝至已準(zhǔn)備就緒的現(xiàn)場(chǎng)。使用底座上提供的準(zhǔn)平頂具調(diào)平裝置，將系統(tǒng)布置在一個(gè)干凈的位置。按照說明手冊(cè)，連接所有服務(wù)。重要提示：未能正確重新連接所有服務(wù)對(duì)于系統(tǒng)、系統(tǒng)組件及操作員將帶來危險(xiǎn)。VMD900DL說明手冊(cè) 第12頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited重要提示：檢查所有電機(jī)的方向，確保三相連接正確。重要提示：重新安裝后的連接或重連操作只能由合格的人員進(jìn)行。有關(guān)任何技術(shù)問題，請(qǐng)咨詢West Technology Systems Limited。6. 總體布局“VMD 900DL”的設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué)，適合大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室狀況。所有電源服務(wù)位于機(jī)器后方的固定面板上，包括水、氣、電和真空泵排氣線。其他面板可拆卸，允許方便維護(hù)所需的地方。該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)考慮大多數(shù)操作員對(duì)于通過PLC控制大多數(shù)操作的真空系統(tǒng)的了解甚少或有限。操作員面板具有系統(tǒng)的所有控制，啟動(dòng)和關(guān)閉、腔室抽空和通風(fēng)以及連續(xù)沉積。真空壓力調(diào)節(jié)（對(duì)于鋅層）和源蒸發(fā)電流控制位于HMI附近。源變壓器位于可拆卸面板背后主外殼的右手側(cè)。VMD900DL說明手冊(cè) 第13頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited可編程邏輯控制器、所有接觸器和控制線路位于可拆卸面板背后主外殼的左手側(cè)。7. 操作啟動(dòng)系統(tǒng)注意：操作本設(shè)備前，請(qǐng)閱讀提供的所有說明書。注意：當(dāng)旋轉(zhuǎn)工件夾具系統(tǒng)時(shí)應(yīng)始終注意，并且操作員應(yīng)確保不安裝不均衡負(fù)荷至工件夾具。首先檢查“緊急停止”按鈕不可操作，通過逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)釋放它。接著打開墻上的電源“ON”。然后通過操作位于VMD900DL左手側(cè)面板上的開關(guān)打開電源。HMI將開始測(cè)試?yán)�，約15秒后會(huì)顯示 “WEST TECHNOLOGY歡迎屏幕”。按屏幕上的任何地方，操作員進(jìn)入“泵操作屏幕”按下“信息”按鈕，操作員將進(jìn)入“信息屏幕”（參見后文）。VMD900DL說明手冊(cè) 第14頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited為啟動(dòng)系統(tǒng)，操作員按下“開始系統(tǒng)”按鈕。注意：如果“安全復(fù)位”按鈕是紅色的，則系統(tǒng)必須休息。為了完成此操作，操作員按下“安全復(fù)位”按鈕。在短暫的延遲后，這個(gè)按鈕更改為“安全健康”。一旦出現(xiàn)“安全健康”的說明，操作員可以通過按下“啟動(dòng)系統(tǒng)”按鈕啟動(dòng)系統(tǒng)。該按鈕將轉(zhuǎn)化為顯示“停止系統(tǒng)。VMD900DL說明手冊(cè) 第15頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited該系統(tǒng)需要30分鐘才能啟動(dòng)，并且時(shí)間以倒數(shù)形式在“準(zhǔn)備進(jìn)入”箱中顯示。控制屏幕按下系統(tǒng)模擬上的“控制”按鈕，操作員進(jìn)入“控制屏幕”。這是系統(tǒng)的主控制屏幕。“控制屏幕”是操作員執(zhí)行連續(xù)沉積過程的地方。按下“抽空”按鈕，啟動(dòng)腔室的抽空。由于該按鈕是按下的，按鈕上的說明暫時(shí)變?yōu)?ldquo;抽氣”，然后又返回顯示“抽空”。在屏幕上顯示腔室壓力。按下“關(guān)閉燈光”按鈕，打開腔室LED燈，以照亮真空室內(nèi)部。當(dāng)按下時(shí)，“關(guān)閉燈光”圖標(biāo)變?yōu)?ldquo;打開燈光”。再次按下該按鈕，關(guān)閉LED燈（圖標(biāo)變回為“關(guān)閉燈光”）。如需對(duì)真空室通風(fēng)，操作員只需按下“通風(fēng)”按鈕即可。一旦按下，腔室自動(dòng)通風(fēng)，并返回至大氣壓力。按下“菜單”按鈕，操作員進(jìn)入“菜單屏幕”。按下“燈箱”，HMI屏幕將變?yōu)橐粋€(gè)白色的燈箱屏幕�？捎糜诳焖贆z查工藝展示件，以評(píng)估顯現(xiàn)的指紋。按下“菜單”按鈕，操作員進(jìn)入“菜單屏幕”。按下“密封”按鈕，將密封腔室，即高真空閥門將關(guān)閉。此功能用于將展示件整夜維持在高真空條件下。VMD900DL說明手冊(cè) 第16頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited金/鋅蒸發(fā)一旦腔室真空壓力達(dá)到高真空壓力高于1×10-4毫巴，蒸發(fā)源將變得活躍。為開始金沉積過程，按下“關(guān)閉源”按鈕。Source Activation Button 源激活按鈕經(jīng)短暫延時(shí)后，右側(cè)“關(guān)閉源”圖標(biāo)變?yōu)?ldquo;源1”，而左側(cè)“關(guān)閉源”圖標(biāo)變?yōu)?ldquo;鍍金層1”。此時(shí)，操作員可以在HMI屏幕下側(cè)位置慢慢調(diào)整，并增加蒸發(fā)電流，直至蒸發(fā)皿發(fā)出暗紅色，并且金絲融化和“浸濕”蒸發(fā)皿。VMD900DL說明手冊(cè) 第17頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems LimitedCurrent Potentiometer 電流電位計(jì)注意：如果蒸發(fā)電流上升太快，那么金絲可能從蒸發(fā)皿中跳出。當(dāng)黃金“浸濕”蒸發(fā)皿時(shí)，操作員可以通過電流電位計(jì)慢慢增加蒸發(fā)電流直到蒸發(fā)皿發(fā)出白熱，黃金將開始蒸發(fā)。蒸發(fā)時(shí)間不應(yīng)超過3-5秒。當(dāng)蒸發(fā)結(jié)束時(shí)，操作員使用電流電位計(jì)慢慢調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流至零。按下“源1”按鈕，然后選擇第2組金蒸發(fā)皿（如果已安裝）。在正常工作下，不使用該蒸發(fā)源，但可能存在需要額外黃金蒸發(fā)的情況。另外該蒸發(fā)源可用于鋅蒸發(fā)后需要進(jìn)行銀連續(xù)蒸發(fā)的工藝。當(dāng)按下“源1”時(shí)，圖標(biāo)變?yōu)?ldquo;源2” ，并且“金層1”圖標(biāo)變?yōu)?ldquo;金層2”。然后重復(fù)黃金蒸發(fā)步驟。VMD900DL說明手冊(cè) 第18頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited如果不需要黃金二次沉積，那么通過按下“源1”按鈕兩次，操作員進(jìn)入“源3”，并且“金層1”圖標(biāo)變?yōu)?ldquo;鋅層”。系統(tǒng)將自動(dòng)調(diào)整鋅蒸發(fā)腔室的壓力，通常需要幾秒鐘時(shí)間達(dá)到穩(wěn)定，此時(shí)將顯示圖標(biāo)“鋅層”。在慢慢調(diào)節(jié)電流電位計(jì)前，建議操作員通過按下“打開燈光”按鈕關(guān)閉腔室的燈。用于蒸發(fā)金的相同工藝也適用于蒸發(fā)鋅，即操作員可以慢慢調(diào)整電流電位計(jì)，并增加蒸發(fā)電流直到蒸發(fā)皿發(fā)出暗紅色，鋅箔（或顆粒）源材料熔化并“浸濕”蒸發(fā)皿。此時(shí)，迅速按下“關(guān)閉燈光”按鈕打開腔室的燈，并觀察被加工展示件的表面。通過慢慢增加電流，鋅將開始堆積至展示件表面，顯現(xiàn)指紋。這將允許操作員觀察和評(píng)估鋅的沉積，以獲得最佳的指紋圖像。需要經(jīng)驗(yàn)來判斷沉積至樣品材料的鋅量，以沉積足夠的鋅產(chǎn)生指紋圖像，但不會(huì)沉積過多鋅而降低指紋圖像的清晰度。注意：如果蒸發(fā)電流上升太快，那么金絲可能從蒸發(fā)皿中跳出。VMD900DL說明手冊(cè) 第19頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited注意：如果鋅沉積工藝的腔室壓力太低，那么在屏幕上將不會(huì)顯示“鋅層”圖標(biāo)，同時(shí)顯示圖標(biāo)“低壓”。注意：如果鋅沉積工藝的腔室壓力太高，那么在屏幕上將不會(huì)顯示“鋅層”圖標(biāo)，同時(shí)顯示圖標(biāo)“高壓”。在這種情況下，不能蒸發(fā)鋅直到已糾正壓力條件。這通過小心逐步地調(diào)整位于腔室的右手側(cè)的泄漏閥完成。VMD900DL說明手冊(cè) 第20頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited鋅蒸發(fā)結(jié)束時(shí)，按下“源3”按鈕將關(guān)閉所有蒸發(fā)源。按下“通風(fēng)”按鈕，腔室返回到大氣壓力，可以移除被加工展示件的材料。一旦按下，圖標(biāo)在返回至“通風(fēng)”前暫時(shí)變?yōu)?ldquo;正在通風(fēng)”。通風(fēng)腔室需要大約2分鐘。菜單屏幕該屏幕允許訪問所有其他系統(tǒng)屏幕。控制屏幕-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“控制屏幕”（參見上文）系統(tǒng)啟動(dòng)-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“泵操作屏幕”（參見上文）。壓力-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“壓力屏幕”（參見下文）。模擬-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“系統(tǒng)模擬屏幕”（參見下文）。VMD900DL說明手冊(cè) 第21頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited數(shù)據(jù)-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“數(shù)據(jù)屏幕”（參見下文）。信息-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“信息屏幕”（參見下文）。報(bào)警-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“報(bào)警屏幕”（參見下文）中文/英文-按下此按鈕，更改HMI屏幕中使用的語言，從英文變更為中文，或相反。壓力屏幕該屏幕顯示背壓、粗抽壓和高真空計(jì)壓。系統(tǒng)模擬屏幕該屏幕提供有關(guān)系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)的信息，例如上述例子中真空泵處于運(yùn)行中，高真空閥和止回閥打開。圖標(biāo)“高真空”表明系統(tǒng)處于高真空。壓力顯示器正顯示3.5×10-5毫巴。VMD900DL說明手冊(cè) 第22頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited按下“關(guān)閉燈光”按鈕，打開腔室LED燈，以照亮真空室內(nèi)部。在工藝沉積期間，當(dāng)加載金絲至蒸發(fā)皿和開始施加電流至鋅蒸發(fā)皿時(shí)，這一步驟有用。按下“菜單”按鈕，操作員進(jìn)入“菜單屏幕”（參見下文）。按下“控制”按鈕，操作員進(jìn)入“控制屏幕”按下“外部”按鈕，操作員進(jìn)入“服務(wù)屏幕”。該屏幕顯示冷水機(jī)組（如配備）和氣動(dòng)壓縮機(jī)（如配備）的運(yùn)行狀態(tài)。同時(shí)提示操作員供水和空氣供應(yīng)是否在運(yùn)行參數(shù)內(nèi)。按下“內(nèi)部”按鈕，操作員返回至“系統(tǒng)模擬屏幕”。數(shù)據(jù)屏幕該屏幕顯示有關(guān)所有關(guān)鍵運(yùn)行的系統(tǒng)參數(shù)，包括背壓、粗抽壓和高真空計(jì)壓。主要部件的運(yùn)行狀態(tài)（如旋轉(zhuǎn)真空泵、機(jī)械增壓泵等）和自動(dòng)控制程序中使用的設(shè)定點(diǎn)系列。VMD900DL說明手冊(cè) 第23頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited注意：可以改變?cè)O(shè)定點(diǎn)，但是在未與West Technology討論前，強(qiáng)烈建議操作員不要更改任何設(shè)置點(diǎn)。信息屏幕該屏幕有許多按鈕，允許操作員了解系統(tǒng)的更多信息：啟動(dòng)泵-說明當(dāng)系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)真空泵的操作順序。報(bào)警-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“報(bào)警屏幕”（參見下文）壓力-操作員進(jìn)入“壓力信息屏幕”（參見下文）。服務(wù)-操作員進(jìn)入“服務(wù)信息屏幕”（參見下文）。趨勢(shì)-操作員進(jìn)入“壓力趨勢(shì)屏幕”（參見下文）。維護(hù)-操作員進(jìn)入“維護(hù)屏幕”（參見下文）。定時(shí)器-操作員進(jìn)入“定時(shí)器屏幕”（參見下文）。I/O列表-操作員進(jìn)入“I/O列表屏幕”（參見下文）。VMD900DL說明手冊(cè) 第24頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited壓力信息屏幕該屏幕說明背壓、粗抽壓和高真空壓表如何工作并顯示真空壓力。服務(wù)信息屏幕該屏幕給予有關(guān)West Technology的聯(lián)系信息。有關(guān)服務(wù)支持合同的詳情，請(qǐng)聯(lián)系我們。趨勢(shì)屏幕該屏幕顯示粗抽和高真空壓力趨勢(shì)表。VMD900DL說明手冊(cè) 第25頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited維護(hù)屏幕該屏幕給出系統(tǒng)的每周、每月、每3個(gè)月和年度維修計(jì)劃。定時(shí)器屏幕該屏幕給出有關(guān)擴(kuò)散高真空泵預(yù)熱定時(shí)器（系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)激活）和擴(kuò)散泵冷卻定時(shí)器（系統(tǒng)關(guān)閉時(shí)激活）的信息。I/O列表屏幕VMD900DL說明手冊(cè) 第26頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited該屏幕受密碼保護(hù)，只能由授權(quán)的服務(wù)工程師訪問。一旦訪問，該屏幕允許工程師選擇系統(tǒng)的手動(dòng)控制和一系列其他功能。工藝周期裝載樣品為裝載樣品材料至腔室，操作員必須先釋放門閂并打開門。注意：如果腔室已經(jīng)在運(yùn)行或處于“密封”狀態(tài)，那么操作員必須按下“控制屏幕”上的“通風(fēng)”按鈕，使得腔室返回至大氣壓力。操作員然后從腔室撤回工件夾具（使用手柄）。當(dāng)工件夾具處于完全伸出的位置，操作員拉動(dòng)位于右手側(cè)的小扣銷，并慢慢倒轉(zhuǎn)工件夾具。注意：必須拉出扣銷，以充分旋轉(zhuǎn)工件夾具至其設(shè)定位置。工件夾具具有一個(gè)三位式閂鎖組件-正常位置、90度、45度和完全倒轉(zhuǎn)。一旦工件夾具處于其所需位置，可以釋放扣銷，以鎖定工件夾具的位置。確保樣品材料是光滑的，使用小塊高性能磁體將其連接至工件夾具。一旦連接，旋轉(zhuǎn)工件夾具回到正常位置。注意：當(dāng)旋轉(zhuǎn)工件夾具系統(tǒng)時(shí)應(yīng)始終注意，并且操作員應(yīng)確保不安裝不均衡負(fù)荷至工件夾具。最后操作員將工件夾具推回至腔室內(nèi)，并關(guān)上門。腔室抽空為抽空腔室，操作員必須按下“控制屏幕”中的“抽空”按鈕。事件的先后序列如下：1. 粗抽閥打開。VMD900DL說明手冊(cè) 第27頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited2. 腔室內(nèi)壓力降低到預(yù)定水平（交叉壓力）。3. 粗抽閥關(guān)閉。止回閥打開。4. 高真空閥打開。5. 腔室抽空至高真空壓力沉積過程1. 操作員首先確保電流電位計(jì)設(shè)置為零（順時(shí)針旋轉(zhuǎn)到底）。2. 如果不是在“控制屏幕”中，操作員通過“系統(tǒng)模擬屏幕”或“菜單屏幕”選擇該屏幕。3. 在“控制屏幕”中，操作員按下左側(cè)“關(guān)閉源”按鈕，該按鈕的圖標(biāo)變?yōu)?ldquo;源1”，右側(cè)關(guān)閉源”下方圖標(biāo)變?yōu)?ldquo;金層1”。4. 然后，操作員逆時(shí)針慢慢旋轉(zhuǎn)電流電位計(jì)旋鈕，直到獲得所需蒸發(fā)度。（參見上述“控制屏幕”中的注釋）。注意：黃金源的供電不要過快，因?yàn)闀?huì)出現(xiàn)熱沖擊，而導(dǎo)致黃金從蒸發(fā)皿中跳出。緩慢向蒸發(fā)皿供電，直到黃金首次浸濕蒸發(fā)皿，然后增加供電，以實(shí)現(xiàn)完全蒸發(fā)。通過增加功率，黃金將完全蒸發(fā)，直到蒸發(fā)皿達(dá)到白熱狀態(tài)。注意：在黃金蒸發(fā)期間，最好關(guān)閉腔室燈。5. 一旦完成蒸發(fā)，操作員必須順時(shí)針滿旋電流電位計(jì)旋鈕，以確保其關(guān)閉。6. 然后操作員按下“源1”一次選擇進(jìn)行二次金蒸發(fā)，或按下“源1”兩次繼續(xù)鋅蒸發(fā)，而圖標(biāo)變?yōu)?ldquo;源3”。將有短暫的停頓，同時(shí)系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整腔室中的壓力至約3×10-4毫巴。一旦鋅沉積的真空壓力在規(guī)定的范圍內(nèi)，右側(cè)圖標(biāo)變?yōu)?ldquo;鋅層”。VMD900DL說明手冊(cè) 第28頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited可通過位于RHS上真空腔室正下方的LV10K細(xì)針型閥，將鋅蒸發(fā)壓力調(diào)整至預(yù)定范圍內(nèi)。順時(shí)針旋轉(zhuǎn)閥門旋鈕，增加真空壓力（例如，從6.7×10-4至3.3×10-4毫巴），而逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，則減小真空壓力（例如，從3.3×10-4至6.7×10-4毫巴）。當(dāng)蒸發(fā)鋅蒸發(fā)皿時(shí)，建議開始時(shí)應(yīng)關(guān)閉腔室燈。緩慢地供電，直至蒸發(fā)皿的兩端開始發(fā)出暗紅色，并且在增加功率開始蒸發(fā)前，允許短時(shí)間將鋅浸泡在該水平。注意：當(dāng)蒸發(fā)鋅層時(shí)，建議打開腔室燈，這樣可以觀察到指紋的顯現(xiàn)。在某些材料上很難觀察指紋的顯現(xiàn)。因此，建議固定一個(gè)小尺寸白色塑料試件至工件夾具，以幫助觀察。7. 一旦完成蒸發(fā)，操作員必須順時(shí)針滿旋電流電位計(jì)旋鈕，以確保其關(guān)閉。8. 完成鋅蒸發(fā)后，建議操作員切換回“金層1”，并緩慢增加電流直至金蒸發(fā)皿發(fā)出白熱。通過這一步驟將移除蒸發(fā)皿上的任何鋅污染。9. 一旦完成蒸發(fā)，操作員必須順時(shí)針滿旋電流電位計(jì)旋鈕，以確保其關(guān)閉。腔室通風(fēng)為使腔室通風(fēng)回到大氣壓力，操作員必須按下“控制屏幕”中的“通風(fēng)”按鈕。事件的先后序列如下：1. 高真空閥關(guān)閉。2. 短暫延時(shí)后，進(jìn)氣閥打開。VMD900DL說明手冊(cè) 第29頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited3. 一旦腔室處于大氣壓力，進(jìn)氣閥關(guān)閉并且系統(tǒng)重啟。腔室清洗注意：當(dāng)清洗腔室設(shè)備時(shí)，應(yīng)使用防塵口面罩、橡膠手套和安全眼鏡。注意：WTSL建議在開始任何清洗前先關(guān)閉系統(tǒng)。注意：為確保不會(huì)積累大型沉積，腔室定期清洗非常必要。這將使日常維護(hù)更容易，并有助于保持系統(tǒng)的最佳性能。為協(xié)助清洗過程，腔室已安裝可拆卸的襯墊，一旦從腔室移除，應(yīng)使用合適的溶劑擦除干凈。對(duì)于更頑固的沉積，我們建議使用輕百潔布擦拭。移除襯墊后，應(yīng)清掃腔室，并特別注意母線周圍，防止沉積的堆積而導(dǎo)致短路。注意：可以從West Technology訂購備用襯墊套。LED燈表面也需要定期清洗。我們建議在燈上涂敷適當(dāng)?shù)恼婵諠?rùn)滑脂薄涂層，因此只需要使用適當(dāng)溶劑清洗劑即可清洗。這將防止清洗期間燈具被劃傷。VMD900DL說明手冊(cè) 第30頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited8 建議的服務(wù)要求每周Ÿ 檢查所有E2M80 和EH500真空泵的油視鏡的油位。如有需要，進(jìn)行補(bǔ)充。Ÿ 檢查氣動(dòng)壓縮機(jī)的油位（如果存在）。如有需要，進(jìn)行補(bǔ)充。Ÿ 清洗腔室和O型環(huán)密封。每月Ÿ 清洗腔室和室內(nèi)設(shè)備。每3月Ÿ 檢查O型環(huán)門密封。每6月Ÿ 檢查擴(kuò)散泵流體的條件和水平。每12月Ÿ 小型服務(wù)E2M80泵Ÿ 更換EH500機(jī)械增壓器中的油（如需要）。Ÿ 檢查擴(kuò)散泵流體。Ÿ 檢查粗抽壓、背壓、進(jìn)氣和高真空閥。Ÿ 清洗和檢查真空計(jì)。注意：當(dāng)清洗腔室、室內(nèi)設(shè)備、真空閥、真空計(jì)等，應(yīng)使用呼吸防塵面罩、橡膠手套和安全眼鏡。注意：必須按照制造商的說明清洗表。VMD900DL說明手冊(cè) 第31頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited9 建議的備件和耗材VMD900備件 零件號(hào)ultragrade 20油，1升 WTS/11024015/1Lultragrade 20油，4升 WTS/11024013/4LDC704擴(kuò)散泵油，1升 WTS/704/1LAIM-S-NW25主動(dòng)倒置式磁控真空計(jì)頭 WTS/14641000ATC-M-1/8"主動(dòng)熱電偶真空計(jì)頭 WTS/35108000晶閘管熔絲16A WTS/THYFUSE備用熔絲組 WTS/熔絲工具箱 WTS/工具10 Bremag磁鐵包 WTS/NB012B-MLED燈 WTS/MR16-3CW-XREP4-C腔室門密封 WTS/門封O型密封圈組 WTS/密封組VMD耗材（所有型號(hào)）蒸發(fā)皿 零件號(hào)黃金（10包） WTS/金/蒸發(fā)皿銀（10包） WTS/銀/蒸發(fā)皿鋅（10包） WTS/銀/蒸發(fā)皿蒸發(fā)源材料金絲1m WTS/金/1M銀絲1m WTS/銀/1M鋅粒250g WTS/鋅/250gVMD900DL說明手冊(cè) 第32頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014世聯(lián)翻譯-讓世界自由溝通！專業(yè)的全球語言翻譯供應(yīng)商，上海翻譯公司專業(yè)品牌。絲路沿線56種語言一站式翻譯與技術(shù)解決方案，專業(yè)英語翻譯、日語翻譯等文檔翻譯、同傳口譯、視頻翻譯、出國(guó)外派服務(wù)，加速您的全球交付。 世聯(lián)翻譯公司在北京、上海、深圳等國(guó)際交往城市設(shè)有翻譯基地，業(yè)務(wù)覆蓋全國(guó)城市。每天有近百萬字節(jié)的信息和貿(mào)易通過世聯(lián)走向全球！積累了大量政商用戶數(shù)據(jù)，翻譯人才庫數(shù)據(jù)，多語種語料庫大數(shù)據(jù)。世聯(lián)品牌和服務(wù)品質(zhì)已得到政務(wù)防務(wù)和國(guó)際組織、跨國(guó)公司和大中型企業(yè)等近萬用戶的認(rèn)可。
